- Productbeschrijving
- Extra informatie
- Downloads
-
Model 225 van Setra is bij uitstek geschikt voor halfgeleiderprocessen van gastoevoersystemen met een hoge zuiverheidsgraad, en besturingstoepassingen die een ultraschone werking, hoge doorvoerprestaties en uitzonderlijke stabiliteit op lange termijn vereisen.
De GCT-225 is ontworpen met een laag caviteitsvolume van 0,11 inch3, waardoor het insluiten van deeltjes vrijwel wordt geëlimineerd, en kan eenvoudig worden gespoeld. Alle natte delen zijn van 316L VIM/VAR roestvrij staal, gepassiveerd tot 5 Ra (7 Ra. max.) afwerking, waardoor onregelmatigheden aan het oppervlak worden geëlimineerd en de juiste oppervlaktechemie voor corrosieweerstand wordt geboden, waardoor een gasdistributie zonder verontreinigingen wordt gegarandeerd. Elke sensor is getest op heliumlekkage van de massaspectrometer tot 1 x 10-9 ATMCC/sec.
De Model 225-serie wordt geleverd met een draaibare kap voor eenvoudige toegang tot de potentiometers voor nulpunt en maximum bereik aanpassing. Standaard male of female swivel adapters met afdichting voldoen aan de eisen van de halfgeleiderindustrie. Daarnaast zijn er verschillende andere soorten adapters verkrijgbaar.
De 225 kan worden geleverd met een 5 VDC, 10 VDC of 4-20mA output. Een 1,8 meter lange multi-conductor kabel of bajonetconnector is voorzien voor elektrische afsluiting. Setra's gepatenteerde sensor met variabele capaciteit is voorzien van een VIM/VAR 316L roestvaststalen membraan en een geïsoleerde elektrodeplaat. Tussen de sensor behuizing en de elektrode is een variabele condensator gevormd. Een toename van de druk veroorzaakt een lichte afronding van het membraan, waardoor de capaciteit afneemt. De capaciteitsverandering wordt gedetecteerd en omgezet in een zeer nauwkeurig lineair elektrisch DC-signaal. Setra's unieke op maat gemaakte geïntegreerde circuit maakt gebruik van een gepatenteerd ladingsbalansprincipe en is vrijwel EMI/RFI-immuun.
WAARSCHUWING: Dit product kan u blootstellen aan chemicaliën, waaronder lood, die bekend staan in de staat Californië (USA) als veroorzaker van kanker en geboorteafwijkingen of andere reproductieve schade veroorzaken (kijk voor meer informatie op: www.p65warnings.ca.gov)
TER INFORMATIE: Lood is ingekapseld in het sensor glas binnenin het product. -
Kenmerken
- Superieure stabiliteit vermijdt downtime
- EMI/RFI-immuniteit voorkomt foutieve uitschakeling
- Stevig ontwerp maakt een probleemloze installatie mogelijk
-
Documents:
Filename Upload date Size 225 Series Datasheet 2023.5.14 0.99 MB